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MEMS甲烷氣體傳感器

MEMS甲烷氣體傳感器是主要用于檢測環(huán)境中氣體氣體濃度的MEMS氣體傳感器。MEMS氣體傳感器采用固體金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏元件,SI基襯底.上的微熱板是采用MEMS工藝制作的。該氣體傳感器可把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執(zhí)行器集成于一體。適用于除了惡劣環(huán)境外各種場合的可燃?xì)怏w濃度檢測。

產(chǎn)品介紹:

MEMS甲烷氣體傳感器是主要用于檢測環(huán)境中可燃?xì)怏w氣體濃度的MEMS氣體傳感器。MEMS甲烷氣體傳感器采用固體金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏元件,SI基襯底.上的微熱板是采用MEMS工藝制作的。該甲烷氣體傳感器可把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執(zhí)行器集成于一體。適用于除了惡劣環(huán)境外各種場合的甲烷氣體濃度檢測。

產(chǎn)品參數(shù):

檢測氣體:甲烷氣體

可燃?xì)怏w測量范圍:0-10000ppm

回路電壓Vc:≤24V DC

加熱電壓VH2.8V0.1V AVorDC

負(fù)載電阻RL:可調(diào)

加熱電阻RH80?土20?(室溫)

加熱功耗PH:≤80mW

敏感體電阻Rs1K?~30K?

靈敏度SRO/RS2

濃度斜率a:≤0.9

溫度:20°C2°C

濕度:55%RH5%RH

標(biāo)準(zhǔn)測試電路:VH:2.8V0.1VVC:5.0V0.1V

圖片關(guān)鍵詞

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標(biāo)簽: MEMS氣體傳感器
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